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平坦度检测设备

生产厂家：日本Nidek公司

型号：FT-900

简介：FT-900使用激光斜入射干涉计，通过相移法对干涉条纹进行图像解析，从而对各种样品进行数据测量。

设备详细信息

• 通过激光对样品进行全面测量分析，以此在短时间内获取测量数据。

• 测量结果能够以测量数值、等高线图、俯视图、断面图等方式显示。

• 独特的相移法可排除多重干涉条纹干扰。

• 专用分析装置可使对系统的操作更加简单（基于Windows操作系统）。

• 操作画面可选择日语或英语显示。

• 对于透明样品也可进行分析，并能够在测量时降低减少背面干涉的影响。

• 如需变更去边的范围，在原有测量数据的基础上进行计算便可得出结果。

• 只需在用户使用设备前进行点检，无需特别的校准。

丰富的备选功能

• 通过切换软件设定，可对晶片、方形和任意形状的样品等进行测量。

• 利用Nidek特有的晶片专用真空夹具可实现GBIR（TTV）的高精度测量。

• 对于透明样品，能够对其背面干涉条纹（厚度不均）进行高精度的分析。

• 在半导体行业内要求很高的曝光模拟、应力分析软件。

• 能够实现局部测量的软件。

• 治具种类丰富，可满足多种使用用途的需要。

关于样品检测

可随时为客户进行样品测量，以便客户了解设备的情况。

如需样品测量服务，请与本公司联系。